弊社では、以下に記載されている成分の標準ガスを取り揃えています。
表は、6種類の代表的なベースガスについての製造可否データを兼ねております。表以外のベースガスをご希望の場合は、別途ご相談ください。
また、表のデータは2種混合の場合を想定していますので、3種混合以上の場合についても別途ご相談ください。
無機成分は上から、単元素、多元素化合物の順に記載しています。
有機成分は上から、代表的な名称を50音順で記載しています。
ベースガスの化学式の下に括弧で表示している「最高充填圧力」は、蒸気圧の影響を受けない場合の値です。蒸気圧の低い成分においては、濃度によって変わりますので、ご注意ください。
また、一酸化炭素(CO)を含む標準ガスの最高充填圧力は9.81MPaとなっていますので、ご了承願います。
「製造可能濃度範囲」は、○が記されているものに対して適用され、×が記されているものは製造不可となっております。条件付で製造可になるものに関しては、具体的な「製造可能濃度範囲」もしくは、△を記しています。△のものに関しては、別途ご相談ください。
成分ガス名 Components |
化学式 Chemical Formula |
ベースガス(最高充填圧力:単位[MPa]) Base Gas |
製造可能 濃度範囲 Conc. Grade |
|||||
N2 (14.7) |
Ar (14.7) |
He (11.8) |
H2 (11.8) |
Air (11.8) |
O2 (9.81) |
|||
水素 Hydrogen |
H2 | ○ | ○ | ○ | — |
100ppm 〜 0.1% |
1ppm 〜 0.1% |
1ppm〜50% |
重水素 Heavy hydrogen (Deuterium) |
D2 | ○ | ○ |
50ppm 〜 20% |
× | △ | △ | 1ppm〜20% |
ヘリウム Helium |
He | ○ | ○ | — | ○ |
2000ppm 〜 50% |
○ | 100ppm〜50% |
窒素 Nitrogen |
N2 | — | ○ | ○ | ○ | × |
50ppm 〜 50% |
1ppm〜50% |
酸素 Oxygen |
O2 | ○ | ○ | ○ |
10ppm 〜 0.1% |
× | — | 1ppm〜50% |
ネオン Neon |
Ne | ○ | ○ |
100ppm 〜 50% |
× | ○ | ○ | 10ppm〜50% |
塩素 Chlorine |
CI2 | ○ |
100ppm超 〜 30% |
100ppm超 〜 30% |
× | × | × | 10ppm〜30% |
アルゴン Argon |
Ar |
100ppm 〜 50% |
— | ○ |
5ppm 〜 50% |
× |
5ppm 〜 50% |
1ppm〜50% |
キセノン Xenon |
Xe | ○ | ○ |
1ppm 〜 50% |
○ | ○ | ○ | 10ppm〜50% |
クリプトン Krypton |
Kr | ○ | ○ |
1ppm 〜 50% |
5ppm 〜 50% |
○ | ○ | 100ppm〜50% |
塩化水素 Hydrogen chloride |
HCI | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 0.1%〜30% |
臭化水素 Hydrogen bromide |
HBr | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 0.1%〜20% |
水 Water |
H2O | ○ | ○ | ○ | × | ○ | × | 10ppm〜300ppm |
硫化水素 Hydrogen sulfide |
H2S | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 5ppm〜50% |
一酸化炭素 Carbon monoxide |
CO | ○ | ○ | ○ | ○ |
1ppm 〜 4.1% |
1ppm 〜 0.1% |
1ppm〜50% |
二酸化炭素(炭酸ガス) Carbon dioxide |
CO2 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 1ppm〜50% |
二硫化炭素 Carbon disulfide |
CS2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 5ppm〜2.5% |
硫化カルボニル Carbonyl sulfide |
COS | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 5ppm〜10% |
一酸化窒素 Nitrogen monoxide |
NO | ○ |
500ppm 〜 40% |
500ppm 〜 40% |
× | × | × | 0.1ppm〜50% |
二酸化窒素 Nitrogen dioxide |
NO2 | ○ |
500ppm 〜 5% |
500ppm 〜 5% |
× | ○ |
500ppm 〜 5% |
5ppm〜5% |
亜酸化窒素 Nitrous oxide |
N2O | ○ | ○ | ○ | × | ○ | ○ | 1ppm〜50% |
アンモニア Ammonia |
NH3 | ○ |
100ppm 〜 50% |
100ppm 〜 50% |
100ppm 〜 50% |
5ppm 〜 0.1% |
× | 5ppm〜50% |
亜硫酸ガス(二酸化硫黄) Sulfur dioxide |
SO2 | ○ |
0.2% 〜 18% |
0.2% 〜 18% |
× | ○ |
0.2% 〜 18% |
0.1ppm〜18% |
六フッ化硫黄 Sulfur hexafluoride |
SF6 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 1ppm〜50% |
成分ガス名 Components |
化学式 Chemical Formula |
ベースガス(最高充填圧力:単位[MPa]) Base Gas |
製造可能 濃度範囲 Conc. Grade |
|||||
N2 (14.7) |
Ar (14.7) |
He (11.8) |
H2 (11.8) |
Air (11.8) |
O2 (9.81) |
|||
アクリロニトリル Acrylonitrile |
CH2=CHCN | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 100ppm〜0.75% |
アセチレン Acetylene |
C2H2 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 1ppm〜10% |
アセトアルデヒド Acetaldehyde |
CH3CHO | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜7% |
アセトン Acetone |
CH3COCH3 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm〜1.5% |
イソブタン i-Butane |
i-C4H10 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 1ppm〜24% |
イソブテン i-Butene |
i-C4H8 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 10ppm〜20% |
イソプレン(2-メチル-1,3-ブタジエン) i-Prene |
C5H8 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜4.5% |
イソプロピルアルコール (2-プロパノール) i-Propyl alcohol |
i-C3H7OH | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 50ppm〜500ppm |
イソプロピルクロライド i-Propyl chloride |
(CH3)2CHCI | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜4% |
イソペンタン (2-メチルブタン) i-Pentane |
i-C5H12 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 1ppm〜6% |
HFO-1234yf (2,3,3,3-テトラフルオロ-1-プロペン) HFO-1234yf |
CF3CFCH2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜50% |
エタン Ethane |
C2H6 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 1ppm〜50% |
エチルアセチレン (1-ブチン) Ethylacetylene |
C2H5C≡CH | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 50ppm〜10% |
エチルアルコール Ethyl alcohol |
C2H5OH | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm〜0.2% |
2−エチル−1−ブテン 2-Ethyl-1-butene |
(C2H5)C4H7 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜1% |
エチルベンゼン Ethylbenzene |
C6H5C2H5 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm〜400ppm |
エチルメルカプタン Ethylmercaptan |
C2H5SH | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜4% |
エチレン Ethylene |
C2H4 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 1ppm〜50% |
エチレンオキサイド (酸化エチレン) Ethylene oxide |
C2H4O | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 10ppm〜10% |
塩化エチル Chloroethane |
C2H5CI | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm〜10% |
塩化ビニル Vinyl chloride |
CH2=CHCI | ○ | ○ | ○ | × | △ | × | 10ppm〜10% |
塩化メチル Chloromethane |
CH3CI | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm〜15% |
オクタフルオロシクロペンテン Octafluorocyclopentene |
C5F8 | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 10ppm〜1% |
オルトキシレン o-Xylene |
o-C6H4(CH3)2 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm〜300ppm |
蟻酸エチル Ethyl formate |
HCOOC2H5 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜1.5% |
蟻酸メチル Methyl formate |
HCOOCH3 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜4% |
クロロホルム (トリクロロメタン) Chloroform |
CHCI3 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm〜1% |
酢酸エチル Ethyl acetate |
CH3COOC2H5 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜0.5% |
酢酸ビニル Vinyl acetate |
CH3COOCH=CH2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜0.5% |
酢酸メチル Methyl acetate |
CH3COOCH3 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜1% |
ジエチルサルファイド (硫化エチル) Diethyl sulfide |
(C2H5)2S | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜0.3% |
シクロプロパン Cyclopropane |
(CH2)3 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 10ppm〜10% |
シクロヘキサン Cyclohexane |
C6H12 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 50ppm〜0.5% |
シクロヘキセン Cyclohexene |
C6H10 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 50ppm〜0.5% |
1,1−ジクロロエタン 1,1-Dichloroethane |
1,1-C2H4CI2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm〜1% |
1,2−ジクロロエタン (二塩化エチレン) 1,2-Dichloroethane |
1,2-C2H4CI2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm〜0.5% |
1,1−ジクロロエチレン (塩化ビニリデン) 1,1-Dichloroethylene |
1,1-C2H2CI2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜1% |
ジクロロメタン(塩化メチレン) Dichloromethane |
CH2CI2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 50ppm〜3% |
シス−1,2−ジクロロエチレン cis-1,2-Dichloroethylene |
cis-1,2-C2H2CI2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm〜1% |
シス−2−ブテン cis-2-Butene |
cis-2-C4H8 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 10ppm〜18% |
シス−2−ヘキセン cis-2-Hexene |
cis-2-C6H12 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜1% |
ジブロモメタン (臭化メチレン) Dibromomethane |
CH2Br2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜0.25% |
ジメチルアミン Dimethylamine |
(CH3)2NH | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜10% |
ジメチルエーテル Dimethyl ether |
CH3OCH3 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 50ppm〜10% |
ジメチルサルファイド (硫化メチル) Dimethyl sulfide |
(CH3)2S | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 5ppm〜3.9% |
ジメチルジサルファイド (二硫化メチル) Dimethyl disulfide |
(CH3)2S2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × |
10ppm〜0.1% (目標値) |
3,3−ジメチル−1−ブテン 3,3-Dimethyl-1-butene |
CH3C(CH3)2CH=CH2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 0.3%〜3.4% |
臭化エチル Ethyl bromide |
C2H5Br | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 200ppm〜3.5% |
スチレン Styrene |
C6H5CH=CH2 | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 10ppm〜200ppm |
t-ブチルメルカプタン (2-メチル-2-プロパンチオール) tert-Butyl Mercaptan |
(CH3)3CSH | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜0.1% |
チオフェン Thiophene |
C4H4S | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 50ppm〜0.1% |
トランス−1,2−ジクロロエチレン trans-1,2-Dichloroethylene |
trans-1,2-C2H2CI2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜1% |
トランス−2−ブテン trans-2-Butene |
trans-2-C4H8 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 10ppm〜20% |
トランス−2−ヘキセン trans-2-Hexene |
trans-2-C6H12 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜0.2% |
トリエチルアミン Triethylamine |
(C2H5)3N | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜0.4% |
トリメチルアミン Trimethylamine |
(CH3)3N | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜10% |
トルエン Toluene |
C6H5CH3 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm〜0.15% |
ネオペンタン(2,2-ジメチルプロパン) Neopentane |
C(CH3)4 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜1% |
ノルマルブタン n-Butane |
n-C4H10 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 1ppm〜22% |
ノルマルヘキサン n-Hexane |
n-C6H14 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 1ppm〜1.2% |
ノルマルヘプタン n-Heptane |
n-C7H16 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜0.25% |
ノルマルペンタン n-Pentane |
n-C5H12 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 1ppm〜4% |
パラキシレン p-Xylene |
p-C6H4(CH3)2 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm〜300ppm |
1,2−ブタジエン 1,2-Butadiene |
1,2-C4H6 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 100ppm〜2% |
1,3−ブタジエン 1,3-Butadiene |
1,3-C4H6 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 10ppm〜15% |
1−ブテン 1-Butene |
1-C4H8 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 10ppm〜22% |
プロパジエン (アレン) Propadiene |
CH2=C=CH2 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 10ppm〜10% |
プロパン Propane |
C3H8 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 1ppm〜50% |
プロピレン Propylene |
C3H6 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | △ | 1ppm〜50% |
プロピレンオキサイド (酸化プロピレン) Propylene oxide |
C3H6O | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 100ppm〜0.1% |
フロン−14 Freon 14 |
CF4 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 100ppm〜15% |
フロン−23 Freon 23 |
CHF3 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 50ppm〜10% |
フロン−116 Freon 116 |
C2F6 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 100ppm〜10% |
フロン−134a Freon 134a |
C2H2F4 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜45% |
フロン−218 Freon 218 |
C3F8 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜10% |
フロン−c318 Freon c318 |
C4F8 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜10% |
1−ヘキセン 1-Hexene |
1-C6H12 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 100ppm〜1% |
ベンゼン Benzene |
C6H6 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 1ppm〜0.2% |
1−ペンテン 1-Pentene |
1-C5H10 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 200ppm〜2% |
メタキシレン m-Xylene |
m-C6H4(CH3)2 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm〜300ppm |
メタン Methane |
CH4 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 1ppm〜50% |
メチルアセチレン (アリレン) Methylacetylene |
CH3C≡CH | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 10ppm〜10% |
メチルアルコール Methyl alcohol |
CH3OH | ○ | ○ | ○ | × | × | × | 100ppm〜0.5% |
メチルエチルケトン (2-ブタノン) Ethyl methyl ketone |
CH3(C2H5)CO | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜0.5% |
3−メチル−1−ブテン 3-Methyl-1-butene |
(CH3)C4H7 | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | × | 0.2%〜2% |
2−メチルペンタン 2-Methylpentane |
(CH3)C5H11 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 200ppm〜1% |
3−メチル−1−ペンテン 3-Methyl-1-pentene |
3-CH3-1-C5H9 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜1% |
メチルメルカプタン Methylmercaptan |
CH3SH | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm〜10% |
モノメチルアミン Methylamine |
CH3NH2 | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜10% |
ヨウ化エチル Ethyl iodide |
C2H5I | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 100ppm〜0.9% |
ヨウ化メチル Methyl iodide |
CH3I | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | 10ppm〜3% |